Установка для выращивания монкристаллов лейкосапфира

Назначение: Предназначена для выращивания монокристаллов лейкосапфира методом горизонтально направленной кристаллизации.

Размеры теплового узла: 1570x1100x708мм

Внутренние размеры тигля: 650мм

Наименование параметра Значение
Размеры рабочей камеры, мм
длина
ширина
высота

1500
1000
900
Внутренний диаметр камеры, мм

900
Остаточное давление в рабочем объеме, обеспечиваемое вакуумной системой, мм рт.ст 5х10-5
Скорость перемещения контейнера, обеспечиваемая приводом протяжки штока:
рабочая, мм/ч
ускоренная, мм/мин

1 - 20
400±20
Погрешность позиционирования штока, мм

0,5
Ход штока, мм

600
Параметры поворота и перемещения правой камеры, обеспечиваемые приводом перемещения:

Скорость перемещения камеры, мм

100
Угол поворота камеры, °С

90
Ход перемещения камеры, мм

180
Расход охлаждающей воды, м3/ч, не менее

4
Габаритные размеры, мм

2300х1130х 1800
Масса, кг 1300